在半導(dǎo)體晶圓的制造中,光磁存儲(chǔ)生產(chǎn)中,太陽(yáng)能面板制造中,TFT,OLED及其他光學(xué)**鍍膜中,
**分析儀器及航空航天研究中,都離不開(kāi)高真空,渦輪分子泵,復(fù)合分子泵,磁懸浮分子泵是目前獲得高
真空最好設(shè)備之一,其工作原理是利用高速旋轉(zhuǎn)的多層轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,
從而被壓縮、被一層一層定子隔離,最終驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走而獲得高真空。
分子泵轉(zhuǎn)子,是典型的高速撓性轉(zhuǎn)子,其多達(dá)十幾層幾百個(gè)葉片,轉(zhuǎn)動(dòng)的葉片和定子之間只有0.1毫米,
制造公差達(dá)到微米級(jí)。在轉(zhuǎn)速高達(dá)每分鐘7.2萬(wàn)轉(zhuǎn)時(shí),葉片端部的速度接近超音速,每次開(kāi)始轉(zhuǎn)動(dòng)、停下時(shí),
加速度和減速度都很大,輕微的偏差都將引起極大的震動(dòng),其平衡級(jí)別要求遠(yuǎn)在國(guó)際最高標(biāo)準(zhǔn)G0.4之上,
在其泵殼測(cè)量出的震動(dòng)值要求達(dá)到0.01um,高速在線動(dòng)平衡調(diào)整是其核心技術(shù)之一。
專業(yè)的分子泵維修公司一定會(huì)配備震動(dòng)頻譜分析設(shè)備,相反一些小的山寨廠,四處晃蕩抄襲資料,
可能連震動(dòng)頻譜報(bào)告都未必能看明白,不能不防
中山共享光電真空技術(shù)有限公司是專業(yè)從事分子泵維修工作的,擁有分子泵維修檢測(cè)必須的震動(dòng)頻譜
分析設(shè)備三臺(tái),擁有國(guó)家級(jí)**一項(xiàng),能協(xié)助客戶**分析分子泵的狀態(tài)。
渦輪分子泵維修技術(shù)-振動(dòng)頻譜分析圖