在半導體晶圓的制造中,光磁存儲生產(chǎn)中,太陽能面板制造中,TFT,OLED及其他光學**鍍膜中,
**分析儀器及航空航天研究中,都離不開高真空,渦輪分子泵,復合分子泵,磁懸浮分子泵是目前獲得高
真空最好設備之一,其工作原理是利用高速旋轉(zhuǎn)的多層轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,
從而被壓縮、被一層一層定子隔離,最終驅(qū)向排氣口后為前級抽走而獲得高真空。
分子泵轉(zhuǎn)子,是典型的高速撓性轉(zhuǎn)子,其多達十幾層幾百個葉片,轉(zhuǎn)動的葉片和定子之間只有0.1毫米,
制造公差達到微米級。在轉(zhuǎn)速高達每分鐘7.2萬轉(zhuǎn)時,葉片端部的速度接近超音速,每次開始轉(zhuǎn)動、停下時,
加速度和減速度都很大,輕微的偏差都將引起極大的震動,其平衡級別要求遠在國際最高標準G0.4之上,
在其泵殼測量出的震動值要求達到0.01um,高速在線動平衡調(diào)整是其核心技術之一。
而高速旋轉(zhuǎn)體,普遍存在狀態(tài)的難確定性,渦輪分子泵的生產(chǎn)國家及廠商主要集中在英國愛德華公司
(Edwards),德國萊寶(leybold)公司及普發(fā)(Pfeiffer)公司,法國的阿爾卡特(Alcatel)公司及
意大利的瓦里安(Varian)公司,日本的島津(shimadzu),大阪(Osaka)及荏原(Ebara),他們無一例外都
告知客戶大約在1到2年后將分子泵送回原廠維修,
用戶不知道如何判斷渦輪分子泵的狀態(tài)。新泵使用一到兩年后,有的分子泵狀態(tài)還好,完全無需送修;
有的就狀態(tài)就很差,甚至已報廢。而分子泵拆卸及安裝會耗時不少,送修國外更是費時費力,價格不菲。
渦輪分子泵維修,復合分子泵維修,磁懸浮分子泵維修是項非常細致的工作,同時必須借助專門的
分子泵維修和檢測設備。震動頻譜分析儀就是渦輪分子泵維修的必備設備之一。
分子泵若軸承滾珠磨損,內(nèi)圈磨損,外圈磨損,油脂**,旋轉(zhuǎn)偏差,對中**,主軸彎曲,平衡**等,
都會表現(xiàn)在震動上,通過分子泵維修專用的震動頻譜分析儀,查看一定范圍的加速度頻譜值,就能迅速準確
判斷出分子泵的狀態(tài)。
專業(yè)的分子泵維修公司一定會配備震動頻譜分析設備,相反一些小的山寨廠,四處晃蕩抄襲資料,
可能連震動頻譜報告都未必能看明白,不能不防
中山共享光電真空技術有限公司是專業(yè)從事分子泵維修工作的,擁有分子泵維修檢測必須的震動頻譜
分析設備三臺,擁有國家級**一項,能協(xié)助客戶**分析分子泵的狀態(tài)。

渦輪分子泵維修技術-振動頻譜分析圖
中山共享光電秉承"專心 專業(yè) 全心 全意 盡善 盡美",竭誠為光學鍍膜行業(yè),光磁存儲行業(yè),半導體生產(chǎn)
行業(yè),平板及光電顯示器行業(yè),分析儀器及科研行業(yè)提供上等的分子泵維修服務。
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