Agilent TV81-M分子泵維修
Varian TV81-M分子泵維修
Agilent Turbo-V 81-M
Agilent TV81-M
美國安捷倫Agilent TV81M就是意大利瓦里安Varian Turbo-V 81-M分子泵，又稱為Varian TV81-M分子泵，其與瓦里安的同門兄弟Varian Turbo-V 81-T,都是varian TV81系列，轉(zhuǎn)速都是80000，DN63口徑時，抽速都是77L/s，啟動時間都是60秒，分子泵電源可以相互通用，他們差別在哪里，很多人不清楚。
Varian Turbo-V 81-M pump with CF 2 3⁄4” inlet flange 2.98 (6.57) Part No.9698904，請見下圖：
中山共享光電能熟練維修各類瓦里安分子泵，如：Varian TV70, Varian TV250, Varian Tv301, Varian TV501, Varian TV801，TV701，TV1001，TV2000等
在原子力顯微鏡中，瓦里安也有獨特的優(yōu)勢，配合其緩沖器，分子泵頂部震動可以小于磁懸浮分子泵，能提供更清晰更穩(wěn)定的圖像。
Varian 分子泵采用 Varian Macro Torr技術(shù)，Macro Toree是目前世界上最有效的渦輪級設(shè)計技術(shù)。
渦輪轉(zhuǎn)子都用單獨一塊鋁合金整體加工而成， 重量最小化， 分子泵可以在360度范圍內(nèi)以任意角度工作而無需任何調(diào)整?
整體化設(shè)計降低了作用在材料和軸承上的壓力，可靠性極高。
免維護的陶瓷軸承， 無油，無污染， 平均無故障時間大大增加
瓦里安分子泵在高真空和超高真空應(yīng)用中的幾點優(yōu)勢
1. 陶瓷軸承，脂潤滑，無需維護，兩個軸承都在排氣口端，確保了清潔的真空環(huán)境。( 這對超高真空的應(yīng)用來說非常重要) ，無磁軸承，軸承對轉(zhuǎn)子的固定作用強，可以承受一定的外界機械沖擊。( 這對移動式的真空機組尤為重要)
360度任意角度安裝，長壽命，平均無故障運行時間長達(dá)12000小時。
2． 轉(zhuǎn)子葉片一次加工完成，不僅自重輕，而且大大減小了葉片內(nèi)的應(yīng)力。因此機械強度高，轉(zhuǎn)子壽命長
3． 擁有**技術(shù)的MacroTorr拖動級，使得瓦里安分子泵對氣體，特別是小分子氣體，有很高的壓縮比
分子泵對不同的氣體的抽速和壓縮比是有顯著不同的。壓縮比描述的是分子泵對特定氣體的壓縮能力。在分子泵的排氣口壓力保持不變的情況下，對壓縮比比較大的分子泵來說，氣體分子由排氣口返流回進(jìn)氣口的量較小，反之，則返流較大。
在分子泵剛剛開始工作的階段，由于有大量的氣體由進(jìn)氣口被抽到排氣口，所以這種返流對實際抽速帶來的影響不是很大，而隨著進(jìn)氣口壓力的下降，分子泵抽下來的氣體量在減少，這時，氣體返流對抽速的影響也就大起來了。這就是分子泵對小分子氣體，特別是氫氣的抽氣能力較差的原因。
對于高真空/超高真空系統(tǒng)，當(dāng)系統(tǒng)內(nèi)的壓力低于10-6毫巴以后，系統(tǒng)內(nèi)氫氣占的比例越來越大，而此時氫氣的返流也越來越明顯，因此此時分子泵的有效抽速已經(jīng)與產(chǎn)品說明書給出的參數(shù)相差很大了。分子泵對氫氣的壓縮比越大，分子泵對氫氣的實際有效抽速就越大；反之，則實際有效抽速已經(jīng)所剩無幾。
例如：瓦里安公司V551分子泵對H2的壓縮比為106，所以當(dāng)壓力為10-7毫巴時對氫氣的抽速仍然可以保持500升/秒
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中山共享光電專業(yè)維修Agilent Varian Turbopump TV301
中山共享光電專業(yè)維修Varian TV81分子泵
意大利瓦里安Varian Turbo-V 81-M分子泵電源（分子泵控制器）對應(yīng)的訂貨號如下：
Turbo-V 81-AG Navigator controller 100-240 Vac Part No. 9698996
Turbo-V 81-AG Navigator controller 24 Vdc Part No. 9698995
Turbo-V 81-AG Rack controller base Part No. 9698988
Turbo-V 81-AG Rack controller RS232/485 Part No.9698989
Turbo-V 81-AG Rack controller Profibus Part No.9698990
Turbo-V 81 PCB controller 24 Vdc Part No.9699538
意大利瓦里安Varian Turbo-V 81-M分子泵備件對應(yīng)的訂貨號如下Pump Accessories
Mains cable NEMA plug, 3 m long 0.5 (1.0) 9699958
Mains cable European plug, 3 m long 0.5 (1.0) 9699957
Serial cable and T-Plus Software 0.5 (1.0) 9699883
Inlet screen, KF 40 0.5 (1.0) 9699309
Inlet screen, CF 4 1⁄2” - ISO 63 0.5 (1.0) 9699300
Inlet screen, CF 2 3⁄4” 0.5 (1.0) 9699328
Heater band 220 V 1.0 (2.2) 9699801
Heater band 120 V 1.0 (2.2) 9699802
Metallic water cooling kit 0.5 (1.0) 9699823
Plastic water cooling kit 0.5 (1.0) 9699824
Air cooling kit (0.5 m cable) 2.2 (5.0) 9699290
Air cooling kit extension cable (5 m) 2.2 (5.0) 9699940
Pump extension cable 2.2 (5.0) 9699942
Vibration damper DN 63 0.5 (1.0) 9699375
Vibration damper CFF 4.5" 0.5 (1.0) 9699376
Vent flange KF 10 0.5 (1.0) 9699108
Active Gauges Ask Varian for details
意大利瓦里安Varian Turbo-V 81-M分子泵建議使用的前極真空泵：Recommended Forepump
Mechanical pump DS 42 11.0 (24.0) 9499309
Mechanical pump DS 102 22.0 (48.0) 9499315
Dry scroll SH 110 19.0 (43.0) SH01101 UNIV
Agilent TV81-M渦輪分子泵的參數(shù)如下：
Agilent TV81-M渦輪分子泵的外觀機械尺寸請見下圖：
Agilent Tv81-T渦輪分子泵的抽氣特性
Felight Vacuum System Co.,LTD 專業(yè)從事Agilent TV81-M分子泵維修，我司對Agilent TV81-M分子維修保養(yǎng)內(nèi)容如下：
＊超聲波**清洗轉(zhuǎn)/定子葉片及腔體 并烘干
＊更換了全套原裝進(jìn)口陶瓷軸承,及密封件等損耗品
＊馬達(dá)線圈阻值測量,轉(zhuǎn)子定子間隙測量
＊根據(jù)ISO1940/1& ANSI S2.19,調(diào)整測試動平衡至Ｇ0.１6標(biāo)準(zhǔn)
＊測試0-80000rpm啟動時間<3分鐘
*測試極限真空值<1.0*10－7mbar
*持續(xù)模擬生產(chǎn)現(xiàn)場測試24小時
＊0-20KHz震動頻譜加速度分析
＊6000-80000rpm全轉(zhuǎn)速動平衡分析及校準(zhǔn)
渦輪分子泵維修是件非常專業(yè)細(xì)致的工作，專心專業(yè)的中山共享人，本著全心全意的精神，為客戶提供盡善盡美的服務(wù)。
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