Edwards STP603C
磁懸浮分子泵維修－中山共享光電真空技術(shù)有限公司，
Edwards STP603C磁懸浮分子泵用途為：
Plasma etch (chlorine, fluorine and bromine chemistries) for
metal (aluminum), tungsten and dielectric (oxide) and polysilicon
Electron cyclotron resonance (ECR) etch
Film deposition CVD, PECVD, ECRCVD, MOCVD
Sputtering
Ion implantation source, beam line pumping end station
Edwards STP603磁懸浮分子泵對應(yīng)的訂貨號為：
Edwards STP603 ISO160F YT39b0030
Edwards STP603C ISO160F YT39B0110
Edwards STP603 DN160CF YT390z005
Edwards STP603C DN160CF YT39AZ002
BOC Edwards STP 301 STP 451 STP 603 STP 1003 STP 301C STP 451C STP 603C STP 1003C
愛德華Ultra High Vacuum Range分子泵
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上圖中，大的就是Edawrds STP451磁懸浮分子泵的轉(zhuǎn)子，小的為Edwards EXT75DX復(fù)合分子泵的轉(zhuǎn)子，做對比用
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Edwards STP301C磁懸浮分子泵的技術(shù)特性及機械尺寸圖
BOC Edwards STP1003三軸磁懸浮分子泵，有人稱之為Edwards 1003，其中的STP不帶任何后綴的含義為：Ultra high vacuum Range，其內(nèi)部磁懸浮轉(zhuǎn)子采用3軸控制模式
英國愛德華真空對STP系列三軸磁懸浮分子泵的描述的原文如下：
Used for CD SEM machines, Implanter, Beamlines, Mass Spectrometers, and other particle acceleration devices.
A pure rotor bladed pump (No Holweck stage) this generates a very high ultimate vacuum at the expense of some throughput.
The pumps in red have 3 axis bearings.
These pumps usually require a lower backing pressure.
STP H301C STP H451C STP H803C STP H1303C Edwards High Throughput Range分子泵
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Edwards STP-H1303五軸磁懸浮分子泵，有人稱之為Edwards STPH1303，其中的H的含義為：High Throughput Range，其內(nèi)部磁懸浮轉(zhuǎn)子采用High Throughput Holweck Stage
英國愛德華真空對STP-H系列五軸磁懸浮分子泵的描述的原文如下：
Commonly used on 200mm Etch Machines.
The original High Throughput range.
They incorporate a Holweck drag stage which enhances the Throughput at the expense of ultimate vacuum.
All are 5 axis bearings.
Edwards STP A803C STP A1303C STP A1603C STP A2203C STP A2503C STP A3003C STP A3503C
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Edwards STP-A2203五軸磁懸浮分子泵，有人稱之為Edwards STPA2203，其中的A的含義為：Advantage Range，其內(nèi)部磁懸浮轉(zhuǎn)子采用Advanced High Throughput Holweck Stage
英國愛德華真空對STP-A系列五軸磁懸浮分子泵的描述的原文如下：
Used on new generation 300mm Etch platforms and flat panel display tools.
Advanced rotor designs and materials:
Gives a higher performance from a similar sized pump.
The rotors have 3D geometry improving their performance.
The Holweck stage has been redesigned with the blading on the rotor rather than the stator, this improves Throughput.
Felight Vacuum System Co.,LTD 專心從事BOC Edwards STP603C磁懸浮分子泵維修。我司針對的BOC Edwards STP603CC磁懸浮分子泵維修保養(yǎng)內(nèi)容如下：
＊超聲波**清洗轉(zhuǎn)/定子葉片及腔體并烘干
＊更換了全套原裝進口陶瓷軸承,油棉及密封件等損耗品
＊馬達線圈阻值測量,轉(zhuǎn)子定子間隙測量
＊根據(jù)ISO1940/1& ANSI S2.19,調(diào)整測試動平衡至Ｇ0.１6標準
＊測試0-35000rpm啟動時間<3分鐘
*測試極限真空值<1.0*10－7mbar
*持續(xù)模擬生產(chǎn)現(xiàn)場測試24小時
＊0-20KHz震動頻譜加速度分析
＊6000-35000rpm全轉(zhuǎn)速動平衡分析及校準
渦輪分子泵維修是件非常專業(yè)細致的工作，專心專業(yè)的中山共享人，本著全心全意的精神，為客戶提供盡善盡美的服務(wù)。中山共享專業(yè)從事英國愛德華磁懸浮分子泵維修，能維修的磁懸浮分子泵型號有：
Edwards STP301--- Edwards STP301C
Edwards STP451 ---Edwards STP451C
Edwards STP603 ----Edwards STP603C
Edwards STP1003----Edwards STP1003C
Edwards STPH301---Edwards STPH301C
Edwards STPH451---Edwards STPH451C
Edwards STPH803—Edwards STPH803C
Edwards STPH1303---Edwards STPH1303C
Edwards STPH600---Edwards STPH600C
Edwards STPH1000—Edwards STPH1000C
Edwards STPiX455
Edwards STPiX1605
Edwards STPiX2205
Edwards STPL301---Edwards STPL301
Edwards STPL451----Edwards STPL451C
Edwards STPA803----Edwards STPA803C
Edwards STPA1303---Edwards STPA1303C
Edwards STPA1603---Edwards STPA1603C
Edwards STPA2203---Edwards STPA2203C
Edwards STPA2503----Edwards STPA2503C
Edwards STPA3003----Edwards STPA3503C
Edwards STPA2803----Edwards STPA2803C
Edwards STPA3503---Edwards STPA3503C
Edwards STPF2203-------STPF2203C
Edwards STPXH2603P---Edwards STPXH3203P
Edwards STPXA2703C
Edwards STPXA3203C
Edwards STPXA4503C
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